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Ausschreibung: Waferinspektionsmikroskop - DE-Villingen-Schwenningen
Mikroskope
Dokument Nr...: 884698-2020 (ID: 2020080611380988883)
Veröffentlicht: 06.08.2020
*
  Waferinspektionsmikroskop
1) Zur Angebotsabgabe auffordernde Stelle: Offizielle Bezeichnung:
Hahn-Schickard-Gesellschaft für angewandte Forschung e.V.;
Bereich/Abteilung: Verwaltungsleitung;
Straße, Hausnummer: Wilhelm-Schickard-Str. 10;
Postleitzahl: 78052; Ort: Villingen-Schwenningen;
Land: DE; Telefon: +49 77219430;
Fax: +49 7721943210;
Internet-Adresse: www.Hahn-Schickard.de;
E-Mail: markus.nagler@hahn-schickard.de
Den Zuschlag erteilende Stelle: s.o.
Stelle, bei der die Angebote oder Teilnahmeanträge einzureichen sind: s.o.
2) Verfahrensart: Öffentliche Ausschreibung, Vergabenummer: VSMikroskopMT-DH
3) Form, in der Teilnahmeanträge oder Angebote einzureichen sind: Angebote können nur schriftlich abgegeben werden.
4) Ggf. in den Fällen des  29 (3) die Maßnahmen zum Schutz der Vertraulichkeit und die Informationen zum Zugriff auf die
Vergabeunterlagen: gemäß  3 UVgO
5) Art und Umfang der Leistung: 1. Allgemeine Beschreibung
Hahn-Schickard plant für seinen Reinraum die Beschaffung eines weiteren Wafer-inspektionsmikroskops zur
Kapazitätserweiterung. Das neu zu beschaffende Mikroskop soll sich dabei in die bestehende Inspektions-Umgebung, bestehend aus
drei Nikon L200N-Mikroskopen, möglichst nahtlos einfügen.
2. Herzustellende oder zu bearbeitende Teile
Der Anbieter liefert ein Mikroskop, bestehend aus Stativ, je einer Lichtquelle für Auf- und Durchlicht, manuell zu bedienendem
Objekttisch, Objektivrevolver mit sechs Positionen, sechs Objektiven, Okularen und Anschlussmöglichkeit für zwei Kameras.
Eine der beiden Kameras soll die Aufnahme von Farbbildern gestatten, die andere monochrome Bilder im nahen Infrarot
aufzeichnen. Die Kameras müssen mit dem Softwarepaket Nikon Imaging Solutions Basic Research uneingeschränkt lauffähig sein,
um die Kompatibilität zu den vorhandenen Mikroskopen sicherzustellen.
2.1. Beschreibung der Teile
Mikroskopstativ mit folgenden Eigenschaften:
- Objekttisch mit Verfahrweg von mindestens 205 x 205 mm sowie Grob- und Feintrieb
Das Betrachten von Wafern mit 100, 150 und 200 mm Durchmesser muss möglich sein ohne z.B. das Substrat zu drehen um eine
bestimmte Stelle zu betrachten.
Lichtquelle:
- Je eine individuell steuerbare Lichtquelle mit LED oder Halogen-Lichtquelle (Leistungsreferenz: 100 W Halogen-Lampe) für
Auf- und Durchlicht
- Gelblichtfilter (Blockierung von UV-Licht unterhalb 520 nm Wellenlänge)
Objektive und Okulare:
- Objektivrevolver mit sechs Positionen, bestückt mit folgenden Objektiven (Referenz: Nikon CFI60 TU/T Plan-Baureihe)
o 2,5x
o 5x
o 10x
o 20x
o 50x
o 100x
- Okulare mit 10x-Vergrößerung, neigbar in einem Winkel von 030, aufrechtes Bild, Sichtfeld mindestens 25 mm (Referenz: Nikon
CFI 10X-Okular)
Kamera Ausrüstung:
- Kamera für sichtbares Spektrum
o Farbbild, mindestens 5 Megapixel Auflösung, Sensor 1/1.18 inch oder größer, CMOS-Technologie
o Volle Kompatibilität mit NIS Elements BR Software Paket
o Referenz: Nikon DS-Fi3
- Kamera für nahes Infrarot
o Monochrom-Bild, Mindestens 2.3 Megapixel Auflösung
Beispiel Spektrum einer geeigneten Kamera (Hamamatsu ORCA-spark)
o Volle Kompatibilität mit NIS Elements BR Software Paket
o Referenz: Hamamatsu ORCA-spark
2.2. Anforderungen an bearbeitete Teile
Entfällt
3. Konstruktiver Aufbau und Eigenschaften
Siehe Punkt 2.
4. Leistungsdaten
Siehe Punkt 2.
5. Auftragsabwicklung
5.1. Lieferumfang
Vollständiges Mikroskop bestehend aus den unter 2 beschriebenen Komponenten inkl. aller zum Betrieb notwendigen Kabel,
Software (inkl. Lizenz) und Beschreibung in deutscher Sprache. Die Beschreibung kann auch in englischer Sprache abgefasst sein,
wenn vom Lieferant eine Einweisung in den Betrieb und die Wartung des Mikroskops erfolgt.
5.2. Beigestellte Leistungen durch Hahn-Schickard
Hahn-Schickard stellt den PC für die Installation der Mikroskop-Software bereit. Die Ausstattung orientiert sich an den
Systemanforderungen für NIS Elements BR Software der Firma Nikon.
5.3. Konstruktionsfreigabe
Eine Konstruktionsfreigabe ist nicht vorgesehen.
5.4. Werksprüfung
Eine Werksprüfung ist nicht vorgesehen.
5.5. Lieferung, Installation und Inbetriebnahme
Der Lieferant installiert das Mikroskop vor Ort und nimmt Hard- und Software in Betrieb
5.6. Abnahme vor Ort
Nach Inbetriebnahme findet eine Abnahme durch Hahn-Schickard statt. Dabei wird der Lieferumfang geprüft, die Hard- und
Software auf Funktion getestet.
5.7. Einweisung und Schulung
5.8. Dokumentation
5.8.1. Anlagendokumentation
5.8.2. Softwaredokumentation
Ort(e) der Leistungserbringung: Offizielle Bezeichnung: Hahn-Schickard-Gesellschaft für angewandte Forschung e.V.; Straße,
Hausnummer: Wilhelm-Schickard-Str. 10; Postleitzahl: 78052; Ort: Villingen-Schwenningen; Land: DE; Offizielle Bezeichnung:
Hahn-Schickard-Gesellschaft für angewandte Forschung e.V.; Straße, Hausnummer: Wilhelm-Schickard-Str. 10; Postleitzahl:
78052; Ort: Villingen-Schwenningen; Land: DE
6) Ggf. Anzahl, Größe und Art der einzelnen Lose: entfällt, da keine losweise Vergabe
7) Nebenangebote sind nicht zugelassen.
8) Etwaige Bestimmungen über die Ausführungsfrist: Beginn: 15.10.2020, Ende: 31.10.2020
9) Die Vergabeunterlagen werden auf der Vergabeplattform eVergabe.de bereitgestellt. Ein unentgeltlicher Abruf ohne
Registrierung ist möglich unter https://www.evergabe.de/unterlagen/2291932/zustellweg-auswaehlen.
10) Angebotsfrist: 10.09.2020, 11:00 Uhr; Bindefrist: 12.10.2020
11) Höhe etwa geforderter Sicherheitsleistungen: nicht angegeben
12) Wesentliche Zahlungsbedingungen oder Angabe der Unterlagen, in denen sie enthalten sind: Zahlung innerhalb 21 Tagen nach
Abnahme
13) Mit dem Angebot oder dem Teilnahmeantrag vorzulegenden Unterlagen, die der Auftraggeber für die Beurteilung der Eignung
des Bewerbers oder Bieters und des Nichtvorliegens von Ausschlussgründen verlangt: nicht angegeben
14) Angabe der Zuschlagskriterien, sofern diese nicht in den Vergabeunterlagen genannt werden: Preis
Source: 4 https://www.bund.de/IMPORTE/Ausschreibungen/evergabede/2020/08/5284111.html
Data Acquisition via: p8000000
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